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面向微流控芯片的超声波成形

发表时间:2020-01-06 13:29

     微流控芯片足聚合物微器件中具有良好产业化应用前景的一类器件,其把生物、化学、医学分析过程的样品制备、反应、分离、检测等基本操作单元集成到一块微米尺度的芯片上,自动完成分析全过程。由于它在生物、化学、医学等领域的巨大潜力,已经发展成为一个生物、化学、医学、流体、电子、材料、机械等学科交叉的崭新研究领域。聚合物微流控芯片由于其功能需要,会存在非均衡结构,即微道等功能结构并不是均匀地分布在整个基片上.同时,微流控芯片面积通常为数平方厘米,因此需要一次成形制作较大面积的微结构。制作聚合物微流控芯片时,超声波压印成形存在如下问题:功能微结构的非均匀分布会导致局部应力集中,进而影响结构的复制均匀性,甚至造成局部过热汽化,而另一些部位则成形不完全。本章节面向该类器件的制作,从应力平衡辅助结构设计和局部增压结构设计等角度,结合工艺参数优化以实现微流控芯片的大面积均匀成形。


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